一·真空熔煉爐 雙管爐  區(qū)熔爐  提純爐  設(shè)備用途：

1. 提純金屬、半導(dǎo)體、有機(jī)和無(wú)機(jī)的化學(xué)材料；

2. 區(qū)熔致勻（使一種欲摻入的雜質(zhì)十分均勻地分布在整個(gè)單晶體中）

3. 焊接和測(cè)量液體中的擴(kuò)散率等。

二·真空熔煉爐 雙管爐  區(qū)熔爐  提純爐 優(yōu)點(diǎn)：

 1·區(qū)熔加熱爐采用往復(fù)區(qū)熔的方式，閉環(huán)溫度控制，可靠的控制熔區(qū)的寬度問(wèn)題；生長(zhǎng)室的設(shè)計(jì)成功解     決生長(zhǎng)室的污染問(wèn)題，
 2·將加熱及保溫材料均設(shè)置在生長(zhǎng)腔室外部，采用高純石英作為腔室，同時(shí)抽真空；將流動(dòng)高純氫氣通     入腔室，去除腔室中的微量氧，解決氧化的問(wèn)題；
 3·開發(fā)高柔性的控制軟件，采用觸摸屏進(jìn)行操作，任意設(shè)置區(qū)熔的溫度，區(qū)熔的速度及次數(shù)。

三·主要技術(shù)參數(shù)

1. 最高加熱溫度：     1200℃ 使用溫度：500-1100℃

2. 設(shè)備功率：          ≤35Kw±10%  三相380v 50Hz（三相五線制）

3. 感應(yīng)電源功率：     20Kw±10%  三相380v 50Hz（三相五線制）頻率≥400kHz。

4. 紅外加熱功率：      2kw*2(暫定）

5. 冷態(tài)極限真空度：   ≤5×10^-4Pa

6. 石墨舟尺寸：     Ф70*200mm（外徑*長(zhǎng)度，半圓柱）

7. 石英管（腔室）尺寸： ￠90*1500（根據(jù)實(shí)際情況做調(diào)整）

8. 加熱方式：        高頻感應(yīng)加熱

9·區(qū)熔行程及速度：  位移行程 ≦1200mm
                   慢速：0.1-10mm/h（伺服控制）精度0.01mm
               快速：200mm/min（伺服控制）（空走或者后退）
10.爐內(nèi)充氣壓力：    ≤0.03MPa（氬氣）
11·充氣系統(tǒng)：      自動(dòng)充放氣
12.區(qū)熔溫區(qū)：       2溫區(qū)
13.石英管法蘭連接方式：真空水冷密封法蘭形式，留KF25真空接口，法蘭材質(zhì)304不銹鋼
14.控制方式：觸摸屏+plc